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扫描电镜束流小，电子探针能来妒又妒土谱分析结果比扫描电镜能谱精确一个数量级，电子探针元素面扫描可以用能谱，也可以用波谱，一般对轻元素(C以下)，波谱较准确，相对来说波谱扫描时间较长，一般定性及半定量基本用能谱。能量色散X射线谱英文全称:Energy Dispersive Spectroscopy，原理:利用不同元素的X射线光来自子特征能量不同进行成分分析么宽始准强降夫山者升。X射线具有一定穿透性，能够穿透一定深度的镀层，所以在一定计量的X射线下，通过使用准直器限定射线斑的大小，可以检测到镀层信号以及镀层下基材的信号。镀层越厚，镀层信号越强
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